| 专利名称 | 一种材料分压放气率测量装置 | 申请号 | CN201320613449.6 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN203881640U | 公开（授权）日 | 2014.10.15 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 王魁波;吴晓斌;王宇;陈进新;罗艳;谢婉露;张罗莎 | 主分类号 | G01N7/14(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N7/14(2006.01)I | 专利有效期 | 一种材料分压放气率测量装置 至一种材料分压放气率测量装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种材料分压放气率测量装置，装置包括抽气泵组、超高真空室、两个测试室、两个质谱计、两个角阀和样品室，抽气泵组用于对超高真空室抽真空，样品室用于放置样品，两个测试室分别通过小孔与超高真空室连接，两个质谱计分别与所述超高真空室和第一测试室相连，两个测试室还分别通过两个角阀与样品室相连接。本实用新型能够动态、实时、准确地测量材料的分压放气率和总放气率。 |
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