| 专利名称 | 一种光刻投影物镜系统波像差测量装置 | 申请号 | CN201420224944.2 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN203882092U | 公开（授权）日 | 2014.10.15 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 卢增雄;齐月静;苏佳妮;丁功明;周翊;王宇 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种光刻投影物镜系统波像差测量装置 至一种光刻投影物镜系统波像差测量装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 一种光刻投影物镜系统波像差测量装置，该装置主要由准分子激光器、扩束棱镜、匀光聚焦物镜系统、光纤耦合物镜、多模光纤、成像物镜、照明掩模板、准直物镜及夏克-哈特曼波前传感器组成；其中，从准分子激光器输出的狭长的矩形光斑经扩束棱镜扩束后得到方形光斑，方形光斑经过匀光聚焦物镜系统和光纤耦合物镜后被耦合入多模光纤中；由多模光纤出射的发散球面波经成像物镜后成像到照明掩模板上产生多个球面波，这些球面波经过投影物镜系统后携带其波像差信息，再经过准直物镜后成为平面波，平面波被夏克-哈特曼波前传感器的微透镜阵列分成多个子光束，这些子光束聚焦到夏克-哈特曼波前传感器的探测器上，测得投影物镜系统的波像差信息。 |
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