| 专利名称 | 一种直接倍频产生高功率真空紫外激光的装置及方法 | 申请号 | CN201310113289.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104104006A | 公开（授权）日 | 2014.10.15 | 申请（专利权）人 | 中国科学院理化技术研究所 | 发明（设计）人 | 宗楠;杨峰;徐志;张申金;彭钦军;许祖彦;王志敏 | 主分类号 | H01S3/109(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S3/109(2006.01)I;H01S3/094(2006.01)I;G02F1/37(2006.01)I;G02F1/355(2006.01)I | 专利有效期 | 一种直接倍频产生高功率真空紫外激光的装置及方法 至一种直接倍频产生高功率真空紫外激光的装置及方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种直接倍频产生高功率真空紫外激光的装置及方法，该装置包括激光泵浦源、直接倍频器件、真空腔和功率测量系统；还包括光束整形系统和四维预调节平转台；其中所述激光泵浦源为窄线宽全固态紫外激光泵浦源；所述光束整形系统位于激光泵浦源和真空腔之间；所述四维预调节平转台固定在真空腔内；所述直接倍频器件固定于所述转接板上；该方法为先实现低功率泵浦条件下相位匹配，在此基础上预先调节直接倍频器件角度，预先实现高功率条件下相位匹配。本发明可实现高功率百毫瓦及瓦级真空紫外激光输出，产生的真空紫外激光具有线宽窄、倍频转换效率高、倍频输出功率高，在高功率下输出功率稳定，可实用化等特点。 |
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