| 专利名称 | 一种压阻传感元件及其制备方法 | 申请号 | CN201410338897.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104089570A | 公开（授权）日 | 2014.10.08 | 申请（专利权）人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明（设计）人 | 汪爱英;郭鹏;李润伟;张栋;杨华礼;柯培玲 | 主分类号 | G01B7/16(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B7/16(2006.01)I;C23C28/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种压阻传感元件及其制备方法 至一种压阻传感元件及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种压阻传感元件。该压阻传感元件以类金刚石碳膜为压阻材料，由衬底、位于衬底表面的类金刚石碳膜，以及位于类金刚石碳膜表面金属电极组成。与现有的压阻传感元件相比，该元件具有高灵敏度系数GF值，同时由于非晶碳的各向同性，其在各个方向的灵敏度相同，并且可通过改变工艺参数对GF值进行调控；另外，该元件可在强酸碱环境、摩擦接触服役等特殊环境及工况下工作，因此具有良好的应用前景。 |
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