| 专利名称 | 一种光学玻璃亚表面缺陷检测方法 | 申请号 | CN201410312808.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104089963A | 公开（授权）日 | 2014.10.08 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 张春雷;马占龙;王绍治;刘健;隋永新;杨怀江 | 主分类号 | G01N21/958(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/958(2006.01)I | 专利有效期 | 一种光学玻璃亚表面缺陷检测方法 至一种光学玻璃亚表面缺陷检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种光学玻璃亚表面缺陷检测方法，其步骤为：采用沥青或者聚氨酯抛光方式制备亚表面缺陷玻璃样品；合理确定样品采样点，以全面评价样品亚表面缺陷；根据采样点制作去除区域为规则形状的去除函数，与驻留时间卷积获得规则形状的若干采样区域；利用上述去除函数和离子束加工对采样区域进行不同深度均匀去除；使用表面形貌观察设备对采样区域进行观测，获得光学玻璃亚表面缺陷形貌。本发明采用离子束加工对光学玻璃全视场内不同采样点表面水解层进行去除，使用表面微观形貌检测设备对其进行观测；本发明具有原理简单，测量结果准确直观等特点，避免了使用氢氟酸，是一种安全有效的亚表面缺陷测量方法。 |
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