| 专利名称 | 一种基于环形扫描斜率提取非球面面形测量系统及方法 | 申请号 | CN201410294133.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN104075667A | 公开(授权)日 | 2014.10.01 | 申请(专利权)人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明(设计)人 | 吴永前;黄传科;范斌;刘锋伟 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基于环形扫描斜率提取非球面面形测量系统及方法 至一种基于环形扫描斜率提取非球面面形测量系统及方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种基于环形扫描斜率提取非球面面形测量系统及方法,属于光电技术检测领域,所述测量系统包括激光器、扩束系统透镜组、刻蚀不透明点的平面透镜、成像CCD和一维电控移动台构成;本发明基于环形扫描斜率提取的非球面面形测量,无需补偿器,动态范围大,精度高,其研究成果可用于主镜初抛阶段的检测,解决相关技术瓶颈,具有重要的工程应用价值和现实意义。 |
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