一种基于环形扫描斜率提取非球面面形测量系统及方法

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专利名称 一种基于环形扫描斜率提取非球面面形测量系统及方法 申请号 CN201410294133.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104075667A 公开(授权)日 2014.10.01 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 吴永前;黄传科;范斌;刘锋伟 主分类号 G01B11/24(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/24(2006.01)I 专利有效期 一种基于环形扫描斜率提取非球面面形测量系统及方法 至一种基于环形扫描斜率提取非球面面形测量系统及方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种基于环形扫描斜率提取非球面面形测量系统及方法,属于光电技术检测领域,所述测量系统包括激光器、扩束系统透镜组、刻蚀不透明点的平面透镜、成像CCD和一维电控移动台构成;本发明基于环形扫描斜率提取的非球面面形测量,无需补偿器,动态范围大,精度高,其研究成果可用于主镜初抛阶段的检测,解决相关技术瓶颈,具有重要的工程应用价值和现实意义。

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