| 专利名称 | 凸双曲面Hindle检测中的高精度几何量测量方法 | 申请号 | CN201410311670.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104075668A | 公开（授权）日 | 2014.10.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 陈新东;张斌智 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 凸双曲面Hindle检测中的高精度几何量测量方法 至凸双曲面Hindle检测中的高精度几何量测量方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 凸双曲面Hindle检测中的高精度几何量测量方法，涉及非球面检测领域，解决了现有方法存在的精度低、重复性差、不准确的问题。该方法为调整干涉仪、Hindle球反射镜和凸双曲面对凸双曲面干涉检测，使面形误差均方根值最小；将激光跟踪仪靶标球放在凸双曲面外焦点，对其表面干涉检测，并将倾斜和离焦调至最小，测量其空间坐标；采用激光跟踪仪测量凸双曲面表面特征；移开凸双曲面，对Hindle球反射镜干涉检测，并将倾斜和离焦调至最小；将激光跟踪仪靶标球放在凸双曲面内焦点，对其表面干涉检测，并将倾斜和离焦调至最小，测量其空间坐标；构建检测光轴直线和间隔计算出几何量。本发明测量精度约为0.05mm，精度高，重复性好。 |
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