| 专利名称 | 一种真空紫外激光线宽的测量装置 | 申请号 | CN201420070415.1 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN203848938U | 公开（授权）日 | 2014.09.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院理化技术研究所 | 发明（设计）人 | 宗楠;赵巍;许祖彦;彭钦军;张申金;杨峰;王志敏;张丰丰 | 主分类号 | G01J9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种真空紫外激光线宽的测量装置 至一种真空紫外激光线宽的测量装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型提供一种真空紫外激光线宽的测量装置，其中：真空腔系统包括腔体和入射窗口，光束准直系统、干涉元件和探测元件均置于所述腔体内；所述入射窗口用于入射真空紫外激光；光束准直系统用于对入射的真空紫外激光进行准直；所述干涉元件为楔形劈尖，用于将准直后的真空紫外激光反射形成两束相干光束，在探测元件表面产生干涉条纹；所述探测元件用于采集所述干涉条纹的信息；数据处理系统用于采集和处理所述探测元件获得的干涉条纹的信息，得到所述真空紫外激光的线宽。本实用新型解决了现有技术中对于波长小于185nm的真空紫外激光无法直接测量线宽的技术问题，光学结构简单，性能稳定，对连续、准连续和脉冲真空紫外激光均可实时测量。 |
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