压力温度可调的气体放电等离子体发生装置

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专利名称 压力温度可调的气体放电等离子体发生装置 申请号 CN201420178777.2 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN203851355U 公开(授权)日 2014.09.24 申请(专利权)人 中国科学院工程热物理研究所 发明(设计)人 李帆;张文强;林峰 主分类号 H05H1/24(2006.01)I IPC主分类号 H05H1/24(2006.01)I 专利有效期 压力温度可调的气体放电等离子体发生装置 至压力温度可调的气体放电等离子体发生装置 法律状态 说明书摘要 本实用新型公开了一种压力温度可调的气体放电等离子体发生装置。该装置包括一个能够耐压耐温的压力气罐、等离子体激励器、泵组、加热器、高速采集装置和各种传感器等等组成。等离子体激励器可以将电线接入压力气罐中连接放电件,利用泵组能够让压力气罐中的压力在0-1.1Mpa范围内变动,利用加热片可以将其中的气体加热到100℃,高速采集装置可以采集放电时候的电流和电压,还可以通过安装其他传感器测量等离子体亮度等参数。利用本实用新型,能够为研究气体放电等离子体实验提供不同压力和温度的反应环境,同时可以用于小件材料表面改性和臭氧生成等其他用途。

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