一种芯片背面裸露的重构晶圆结构及制造方法

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专利名称 一种芯片背面裸露的重构晶圆结构及制造方法 申请号 CN201410293014.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104064557A 公开(授权)日 2014.09.24 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所;华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 发明(设计)人 于中尧 主分类号 H01L25/065(2006.01)I IPC主分类号 H01L25/065(2006.01)I;H01L23/31(2006.01)I;H01L21/98(2006.01)I 专利有效期 一种芯片背面裸露的重构晶圆结构及制造方法 至一种芯片背面裸露的重构晶圆结构及制造方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种芯片背面裸露的重构晶圆结构及制造方法,所述结构包括第一芯片、第二芯片和再布线层,第一芯片和第二芯片设置在再布线层上,其中第一芯片和第二芯片距离再布线层具有第一距离;还包括第一限高块和第二限高块,第一限高块和第二限高块设置在再布线层上,其中第一限高块和第二限高块距离再布线层具有第二距离;其中,第一限高块和第二限高块之间分别布置第一芯片和第二芯片;再布线层、第一限高块、第二限高块、第一芯片、第二芯片构成了第一空间,且第一空间内填充树脂;其中,第二距离等于第一距离。本发明通过使用限高块而不必使用高精度塑封模具,具有大幅度降低封装制造和加工成本的技术效果。

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