一种提升太阳电池转换效率的后处理方法

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专利名称 一种提升太阳电池转换效率的后处理方法 申请号 CN201410226317.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104064623A 公开(授权)日 2014.09.24 申请(专利权)人 中国科学院电工研究所;欧贝黎新能源科技股份有限公司 发明(设计)人 汤叶华;周春兰;王文静;陈朋;王亚勋;王磊;王孟;费建明 主分类号 H01L31/18(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/18(2006.01)I 专利有效期 一种提升太阳电池转换效率的后处理方法 至一种提升太阳电池转换效率的后处理方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种提升太阳电池转换效率的后处理方法,以制备好的太阳电池为衬底,在制备好的太阳电池前表面进行后处理工艺。其实现流程整体上分成两节:第一节为常规太阳电池制备流程:制绒清洗及干燥、高温扩散、二次清洗、氮化硅沉积、丝网印刷和烧结测试,第二节为后处理流程:前驱溶液沉积烘干和退火测试。本发明在太阳电池衬底的前表面采用喷涂法沉积氧化硅前驱溶液,烘干、退火后形成氧化硅膜层,得到“氧化硅/氮化硅”双层减反射膜。

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