高稳定性转镜干涉仪

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专利名称 高稳定性转镜干涉仪 申请号 CN201410284248.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104048759A 公开(授权)日 2014.09.17 申请(专利权)人 中国科学院光电研究院 发明(设计)人 相里斌;谭政;方煜;张文喜;吕群波;周志盛;杜述松;张金刚 主分类号 G01J3/45(2006.01)I IPC主分类号 G01J3/45(2006.01)I 专利有效期 高稳定性转镜干涉仪 至高稳定性转镜干涉仪 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种高稳定性转镜干涉仪,包括第一分束器、第一平面反射镜、第二分束器、第二平面反射镜、倾斜反射镜以及能量收集镜,所述第一平面反射镜与所述第二平面反射镜平行设置构成平行反射镜组,所述平行反射镜组固定连接转轴;所述第二分束器的分束膜与所述平行反射镜组平行,所述第二分束器固定设置在所述第一平面反射镜与所述第二平面反射镜之间;所述倾斜反射镜具有倾角。采用一对平行平面镜保证了入射光线和出射光线平行,平面镜组的旋转保证了系统自稳定性和减少了探测时间,系统结构简单,降低了加工装调难度和生产成本的。

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