| 专利名称 | 超高真空试验腔中光路精密调节及转换装置 | 申请号 | CN201410311668.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104049337A | 公开（授权）日 | 2014.09.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 彭忠琦;卢启鹏;龚学鹏;王依 | 主分类号 | G02B7/198(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B7/198(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 超高真空试验腔中光路精密调节及转换装置 至超高真空试验腔中光路精密调节及转换装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 超高真空试验腔中光路精密调节及转换装置，属于在超高真空环境下光学技术领域，为了实现利用同一光源评价多腔镜组，该装置包括EUV光源、样品污染腔、闸板阀、光路精密调节及转换装置、镜组真空腔和曝光腔；该发明在超高真空环境中所利用的光路精密调节及转换装置采用三点支撑两维移动、两维转动精密可调方法准确调节定位反射镜空间位置；并保证设计与安装时反射镜旋转轴系的轴线一定与反射镜反射面同心共面；利用等腰三角稳定性原理将弹性元件布置在旋转轴线的垂直平面上，并确保拉簧挂钉在转轴中心线的延长线中,并保证转换前与转换后拉簧处于相同变形与受力状态使反射镜定位；该装置转换可在真空箱外操作，使反射镜快速切换定位聚焦。 |
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