补偿器及补偿器与干涉仪共轴的调节方法

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专利名称 补偿器及补偿器与干涉仪共轴的调节方法 申请号 CN201410260851.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104048596A 公开(授权)日 2014.09.17 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 何欣;田富湘;谭进国 主分类号 G01B9/02(2006.01)I IPC主分类号 G01B9/02(2006.01)I;G02B27/00(2006.01)I 专利有效期 补偿器及补偿器与干涉仪共轴的调节方法 至补偿器及补偿器与干涉仪共轴的调节方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种补偿器及一种补偿器与干涉仪共轴的调节方法,属于光学技术领域。解决了现有技术中补偿器与干涉仪共轴的调节方法精度低、效率低的技术问题。本发明的补偿器,包括从前向后沿同一光轴依次设置的补偿镜和场镜,还包括光学基准平面镜,光学基准平面镜不遮挡补偿镜的通光口径,且光学基准平面镜的法向与补偿镜的光轴的夹角小于等于3秒,光学基准平面镜的反射面在前。本发明的补偿器能够用于非球面检测,提高补偿器与干涉仪的共轴精度,从而提高非球面的检测及加工精度。

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