专利名称 | 补偿器及补偿器与干涉仪共轴的调节方法 | 申请号 | CN201410260851.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN104048596A | 公开(授权)日 | 2014.09.17 | 申请(专利权)人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明(设计)人 | 何欣;田富湘;谭进国 | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B9/02(2006.01)I;G02B27/00(2006.01)I | 专利有效期 | 补偿器及补偿器与干涉仪共轴的调节方法 至补偿器及补偿器与干涉仪共轴的调节方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种补偿器及一种补偿器与干涉仪共轴的调节方法,属于光学技术领域。解决了现有技术中补偿器与干涉仪共轴的调节方法精度低、效率低的技术问题。本发明的补偿器,包括从前向后沿同一光轴依次设置的补偿镜和场镜,还包括光学基准平面镜,光学基准平面镜不遮挡补偿镜的通光口径,且光学基准平面镜的法向与补偿镜的光轴的夹角小于等于3秒,光学基准平面镜的反射面在前。本发明的补偿器能够用于非球面检测,提高补偿器与干涉仪的共轴精度,从而提高非球面的检测及加工精度。 |
1、源头对接,价格透明
2、平台验证,实名审核
3、合同监控,代办手续
4、专员跟进,交易保障