| 专利名称 | 一种对石墨烯进行硫掺杂的方法 | 申请号 | CN201310080785.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104047060A | 公开（授权）日 | 2014.09.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 梁晨;李铁;王跃林 | 主分类号 | C30B31/08(2006.01)I | IPC主分类号 | C30B31/08(2006.01)I | 专利有效期 | 一种对石墨烯进行硫掺杂的方法 至一种对石墨烯进行硫掺杂的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种对石墨烯进行硫掺杂的方法，包括步骤：1）提供石墨烯，将所述石墨烯置于化学气相沉积反应腔中；2）采用惰性气体对所述反应腔进行通气及排气处理；3）于500~1050℃下通入硫源气体对所述石墨烯进行硫掺杂；4）于氢气及惰性气体气氛中对所述反应腔进行降温。本发明可以简单高效的对石墨烯进行硫掺杂，经济成本低，可大规模生产；可以实现对石墨烯进行大面积的硫掺杂；可直接对绝缘衬底或金属衬底上的石墨烯进行掺杂，便于制作硫掺杂石墨烯器件；制备过程中，可以通过调节硫源气体流量控制硫掺杂浓度，从而实现对石墨烯进行可控掺杂。 |
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