| 专利名称 | 一种利用化学气相沉积法制备硫掺杂石墨烯的方法 | 申请号 | CN201310080808.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104045075A | 公开（授权）日 | 2014.09.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 李铁;梁晨;王跃林 | 主分类号 | C01B31/04(2006.01)I | IPC主分类号 | C01B31/04(2006.01)I | 专利有效期 | 一种利用化学气相沉积法制备硫掺杂石墨烯的方法 至一种利用化学气相沉积法制备硫掺杂石墨烯的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种利用化学气相沉积法制备硫掺杂石墨烯的方法，包括步骤：1）提供一金属衬底，将该金属衬底置于化学气相沉积反应腔中；2）采用惰性气体对所述反应腔进行通气及排气处理；3）于第一温度下对所述反应腔通入氢气，以对所述金属衬底表面的氧化物进行还原；4）于第二温度下将碳源气体与硫源气体通入所述反应炉进行反应，于所述金属衬底表面形成硫掺杂石墨烯；5）于氢气及惰性气体气氛中对所述反应腔进行降温。本发明可以简单高效的在金属衬底上制备硫掺杂石墨烯，经济成本低，可大规模生产大面积的硫掺杂石墨烯，可以实现对石墨烯进行可控掺杂并且便于后续器件制备的进行。 |
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