一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置

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专利名称 一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置 申请号 CN201420259994.4 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN203825035U 公开(授权)日 2014.09.10 申请(专利权)人 中国科学院沈阳自动化研究所 发明(设计)人 于鹏;刘柱;周磊;杨洋;王栋;刘连庆;焦念东 主分类号 G01Q60/38(2010.01)I IPC主分类号 G01Q60/38(2010.01)I 专利有效期 一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置 至一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置 法律状态 说明书摘要 本实用新型涉及一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置,包括固定夹具、探针夹连接器、探针夹;所述探针夹连接器固定于固定夹具上,并与探针夹连接。本实用新型探针夹体积小、质量轻,能够固定到压电陶瓷驱动器上,可以应用于倒置式原子力显微镜扫描头的结构设计中;能够实现探针夹的快速装卸、探针的快速安装和固定,以及为探针提供纳米级位移的振动。

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