专利名称 | 一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置 | 申请号 | CN201420259994.4 | 专利类型 | 实用新型 | 公开(公告)号 | CN203825035U | 公开(授权)日 | 2014.09.10 | 申请(专利权)人 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 发明(设计)人 | 于鹏;刘柱;周磊;杨洋;王栋;刘连庆;焦念东 | 主分类号 | G01Q60/38(2010.01)I | IPC主分类号 | G01Q60/38(2010.01)I | 专利有效期 | 一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置 至一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置,包括固定夹具、探针夹连接器、探针夹;所述探针夹连接器固定于固定夹具上,并与探针夹连接。本实用新型探针夹体积小、质量轻,能够固定到压电陶瓷驱动器上,可以应用于倒置式原子力显微镜扫描头的结构设计中;能够实现探针夹的快速装卸、探针的快速安装和固定,以及为探针提供纳米级位移的振动。 |
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