一种TO-3封装功率半导体器件热阻测试装置

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专利名称 一种TO-3封装功率半导体器件热阻测试装置 申请号 CN201420107212.5 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN203824949U 公开(授权)日 2014.09.10 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 温景超;王立新;周宏宇;陆江;韩郑生 主分类号 G01N25/20(2006.01)I IPC主分类号 G01N25/20(2006.01)I 专利有效期 一种TO-3封装功率半导体器件热阻测试装置 至一种TO-3封装功率半导体器件热阻测试装置 法律状态 授权 说明书摘要 本实用新型公开了一种TO-3封装功率半导体器件热阻测试装置,属于半导体器件测试技术领域。所述装置包括散热基板、TO-3封装平板夹具、耐高温绝缘玻璃管、热偶和热偶插座;散热基板边缘开设有导线引出孔;平板夹具的中心嵌有热偶、边缘安装有热偶插座,热偶与热偶插座电连接;热偶周围分布有器件引脚插孔和器件固定螺丝孔,器件引脚插孔内壁装有耐高温绝缘玻璃管;平板夹具与散热基板固定连接。本实用新型的热阻测试装置,可科学、合理、准确地测试出TO-3封装功率半导体器件的结壳热阻值,这样不仅能够为评估器件的散热性能提供重要参数指标,而且对于优化功率器件设计、提高器件的可靠性和使用寿命都具有重大意义。

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