| 专利名称 | 一种大数值孔径的纯折射式干式投影光学系统 | 申请号 | CN201410250109.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104035187A | 公开（授权）日 | 2014.09.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 邓超;邢廷文;廖志远;朱红伟;白瑜;吕保斌 | 主分类号 | G02B13/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B13/18(2006.01)I;G02B13/22(2006.01)I;G02B27/18(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种大数值孔径的纯折射式干式投影光学系统 至一种大数值孔径的纯折射式干式投影光学系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种大数值孔径的纯折射干式投影光学系统，该投影光学系统数值孔径大，达到0.93。投影光学系统在靠近物方和靠近像方各有一个平板玻璃，它们主要起着保护玻璃的作用。从物面到像面可依次划分为五个镜组，其中，形如腰部的镜组位于第三个镜组，它是一个具有负光焦度的镜组，有利于帮助系统矫正场曲。本发明中的投影光学系统数值孔径高、像差小且结构紧凑，可有效地降低制造成本，降低镜片的加工、检测和装调难度。 |
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