| 专利名称 | 多功能薄膜材料动态力学分析仪及其分析方法 | 申请号 | CN201310070065.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104034653A | 公开（授权）日 | 2014.09.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 发明（设计）人 | 庄重;程帜军;王先平;郭丽君;吴兵;方前锋 | 主分类号 | G01N19/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N19/00(2006.01)I | 专利有效期 | 多功能薄膜材料动态力学分析仪及其分析方法 至多功能薄膜材料动态力学分析仪及其分析方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 多功能薄膜材料动态力学分析仪及其分析方法，其特征在于：该分析仪是由上部腔体和下部腔体构成，所述的上部腔体通过支撑架固定在底座上；所述的下部腔体固定在丝杆上，并通过丝杆来带动下部腔体作上下运动来改变测量的环境；所述的上部腔体和下部腔体相结合后形成真空腔体。该方法是通过静电激发的方式，在一定频率范围、温度范围和真空气氛下，采用强迫振动测量模式和自由衰减模式两种方式，驱动待测试样和参考试样或对比试样同时进行机械振动，通过高频载波获取试样的振幅，经过运算获得薄膜的模量和内耗。 |
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