一种高硬度、低摩擦系数的VAlSiN耐磨涂层及其制备方法

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专利名称 一种高硬度、低摩擦系数的VAlSiN耐磨涂层及其制备方法 申请号 CN201410218844.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104032268A 公开(授权)日 2014.09.10 申请(专利权)人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 发明(设计)人 黄峰;李朋;李栋;孟凡平 主分类号 C23C14/34(2006.01)I IPC主分类号 C23C14/34(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;B32B9/04(2006.01)I 专利有效期 一种高硬度、低摩擦系数的VAlSiN耐磨涂层及其制备方法 至一种高硬度、低摩擦系数的VAlSiN耐磨涂层及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种高硬度、低摩擦系数的VAlSiN耐磨涂层,成分表示为VaAlbSicNd,其中,a+b+c+d=1,0.381≤a+b+c≤0.709,且a、b和c均不为0,a、b、c、d为原子比率;所述涂层具有柱状晶生长结构。所述涂层在满足使用过程中对硬度要求(H>30GPa)的同时兼具较低的摩擦系数(μ<0.5),并表现出良好的耐磨性能(磨损率<10-16m3/N.m)。适合高温、高速、重载环境下用来增加物件表面的耐磨性;也可以作为一种刀具涂层,用来加工钛合金、镍合金等传统刀具涂层难以切削加工的合金。本发明还公开了所述VAlSiN耐磨涂层的制备方法。

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