| 专利名称 | 高稳定性转镜干涉仪 | 申请号 | CN201410284097.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104034422A | 公开（授权）日 | 2014.09.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 相里斌;谭政;方煜;张文喜;吕群波;周志盛 | 主分类号 | G01J3/45(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J3/45(2006.01)I | 专利有效期 | 高稳定性转镜干涉仪 至高稳定性转镜干涉仪 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种高稳定性转镜干涉仪，包括第一分束器、第二分束器、第一平面反射镜、第二平面反射镜、第三平面反射镜、连接机构以及倾斜反射镜：第一分束器的分束膜与第一平面反射镜平行；第二平面反射镜与第三平面反射镜平行设置构成平行反射镜组，平行反射镜组固定连接转轴；平行反射镜组与连接机构固定设置，且第一分束器以及第一平面反射镜与连接机构固定设置；倾斜反射镜具有倾角，平行反射镜组的出射光垂直入射倾斜反射镜。采用一对平行平面镜保证了入射光线和出射光线平行，第一平面反射镜和平面镜组的旋转保证了系统自稳定性和减少了探测时间，系统结构简单，降低了加工装调难度和生产成本的。 |
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