一种微米尺度材料应变检测装置及其检测方法

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专利名称 一种微米尺度材料应变检测装置及其检测方法 申请号 CN201310070052.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104034251A 公开(授权)日 2014.09.10 申请(专利权)人 中国科学院合肥物质科学研究院 发明(设计)人 庄重;程帜军;郭丽君;王先平;吴兵;方前锋 主分类号 G01B7/16(2006.01)I IPC主分类号 G01B7/16(2006.01)I 专利有效期 一种微米尺度材料应变检测装置及其检测方法 至一种微米尺度材料应变检测装置及其检测方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种微米尺度材料应变检测装置及其检测方法,其特征在于:该装置包括三维微动步进电机平台、压电位移管和检测电极,所述的三维微动步进电机平台下方垂直设有压电位移管,所述的检测电极设置在所述的压电位移管下方,所述的检测电机与三维微动步进电机相互平行,所述的检测电极下方设有样品底座。该方法是将检测电极放置到距离接近试样最大形变处,使试样与检测电极形成微小电容。当试样动态形变时,微小电容会产生变化,将高频载波施加在待测试样上,可准确检测电容的变化,即可测量试样产生的应变。将测量的应变信号通过锁相技术进行解耦,可以获得应变信号的振幅与应变落后于参考信号的相角差。本发明具有结构简单可靠、检测精确的优点。

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