| 专利名称 | 一种高精度长程光学表面面形检测仪 | 申请号 | CN201410253989.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104019762A | 公开（授权）日 | 2014.09.03 | 申请（专利权）人 | 中国科学院高能物理研究所 | 发明（设计）人 | 李明;杨福桂;王秋实;盛伟繁;刘鹏 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 一种高精度长程光学表面面形检测仪 至一种高精度长程光学表面面形检测仪 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种高精度长程光学表面面形检测仪，包括第一光学头、参考镜和第二光学头，所述第一光学头用于扫描待测光学元件，所述参考镜固定设置于所述第一光学头的侧壁上，所述第二光学头向所述参考镜投射参考光束，并检测所述参考镜反射的参考光束，所述第一光学头与所述第二光学头的精度等级不同。本发明中采用第一光学头和第二光学头，第一光学头进行扫描测量待测光学元件，第二光学头进行第一光学头的扫描运动误差检测，两光学头根据不同的检测需求和等级来设置精度、测量范围以及光束宽度，从而能够更加准确的测量待测光学元件，而且不易受外界环境干扰。 |
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