| 专利名称 | 一种镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜材料及其制备方法 | 申请号 | CN201310060571.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104004988A | 公开（授权）日 | 2014.08.27 | 申请（专利权）人 | 中国科学院金属研究所 | 发明（设计）人 | 王占杰;宁兴坤;张志东 | 主分类号 | C23C14/06(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/06(2006.01)I;C23C14/28(2006.01)I | 专利有效期 | 一种镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜材料及其制备方法 至一种镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜材料及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜材料及其制备方法，所述材料的组成为NiO：0~50%，La0.7Sr0.3MnO3:50~100%，该材料的居里温度为200~345K，具有良好的低场磁电阻；该材料的制备方法是利用脉冲激光沉积法在650~750°C和25~50Pa氧压的条件下，用镧锶锰氧和氧化镍靶材在SrTiO3(001)基板上沉积10~25nm镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜。通过控制激光照射不同靶材的时间，使薄膜中的氧化镍含量连续可变，在200~345K范围内实现了低场磁电阻的连续可调。该复合薄膜作为磁电阻材料在磁传感器、磁存储器、晶体管等微小电子器件方面具有广阔的应用前景。 |
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