一种取向热敏薄膜电阻的制备方法

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专利名称 一种取向热敏薄膜电阻的制备方法 申请号 CN201410260345.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104003724A 公开(授权)日 2014.08.27 申请(专利权)人 中国科学院新疆理化技术研究所 发明(设计)人 徐金宝;熊信谦;王红光;王磊;边亮 主分类号 C04B35/50(2006.01)I IPC主分类号 C04B35/50(2006.01)I 专利有效期 一种取向热敏薄膜电阻的制备方法 至一种取向热敏薄膜电阻的制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种取向热敏薄膜电阻的制备方法,该方法将硝酸镧、乙酸锰和硝酸铝为原料,分别溶解在冰醋酸和乙二醇甲醚中,得到纯清溶液,通过旋涂法沉积在(100)取向的镍酸镧基底上,预处理挥发有机物,多次重复旋涂得到所需膜厚,经过最终热处理,得到取向热敏薄膜,制备电极得到热敏电阻。由于取向薄膜相对普通薄膜具有更高的晶粒有序排列,不但能够满足电子设备结构的微型化、集成化及高温环境使用的要求,而且能在实际应用中满足器件的更快响应的需求。

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