| 专利名称 | 基于介质-介质-金属结构的超材料光学传感器及其制备方法 | 申请号 | CN201410209198.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103996719A | 公开（授权）日 | 2014.08.20 | 申请（专利权）人 | 中国科学技术大学 | 发明（设计）人 | 邵伟佳;许小亮;李为民;吴以治;王会杰;郁菁 | 主分类号 | H01L31/02(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/02(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 专利有效期 | 基于介质-介质-金属结构的超材料光学传感器及其制备方法 至基于介质-介质-金属结构的超材料光学传感器及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了基于介质-介质-金属结构的超材料光学传感器及其制备方法，其特征在于：在基底上从下至上依次叠加设置有金属薄膜、介质层和周期性介质单元阵列。本发明的超材料光学传感器具有很低的热阻尼(相当于国际产品的1/100以下)，且具有很高的折射率灵敏度和品质因数(一般情况下高于国际产品2-3倍)。 |
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