| 专利名称 | 真空系统兼容的同轴精密线性推进装置 | 申请号 | CN201310052836.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103996417A | 公开（授权）日 | 2014.08.20 | 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 武荣庭;郇庆;闫凌昊;高鸿钧 | 主分类号 | G12B5/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G12B5/00(2006.01)I | 专利有效期 | 真空系统兼容的同轴精密线性推进装置 至真空系统兼容的同轴精密线性推进装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种真空系统兼容的同轴精密线性推进装置，其特征在于，包括：一波纹管和一波纹管的同轴线性驱动组件；该波纹管的同轴线性驱动组件包含一左旋驱动件、一连接件、以及一右旋驱动件，该连接件的两端分别连接该左旋驱动件以及该右旋驱动件，该左旋驱动件、该连接件以及该右旋驱动件均为中空式结构，且形成一容置空间，该波纹管设置在该容置空间内，且该波纹管的两端分别固定在该左旋驱动件和该右旋驱动件上。 |
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