| 专利名称 | 筒长无限的显微物镜光学系统 | 申请号 | CN201420083669.7 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN203773149U | 公开（授权）日 | 2014.08.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 蔡燕民;王向朝;黄惠杰 | 主分类号 | G02B21/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B21/02(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 筒长无限的显微物镜光学系统 至筒长无限的显微物镜光学系统 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种筒长无限的显微物镜光学系统，是一种折反射式光学系统，沿其光轴方向依次包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜和第七透镜，第一透镜、第二透镜和第三透镜具有负光焦度，并弯向物面；第四透镜和第五透镜是双凹负透镜；第六透镜是双凸正透镜；第七透镜具有正光焦度，并弯向物面；孔径光阑位于第三透镜的前表面位置，物面位于所述筒长无限的显微物镜的后焦面位置。本实用新型采用折反射式结构，实现最大数值孔径为0.93，最短焦距为2.15mm，而且成像质量接近完善成像；透镜数量少，结构紧凑，体积小，重量轻；完全满足用于深紫外检测显微镜的技术要求。 |
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