一种多体式高精度微动工作台的定位机构与定位方法

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专利名称 一种多体式高精度微动工作台的定位机构与定位方法 申请号 CN201410196780.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103985418A 公开(授权)日 2014.08.13 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 谭大川;翟嘉;赵文川;吴永前;张灿 主分类号 G12B5/00(2006.01)I IPC主分类号 G12B5/00(2006.01)I 专利有效期 一种多体式高精度微动工作台的定位机构与定位方法 至一种多体式高精度微动工作台的定位机构与定位方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明一种多体式高精度微动工作台的定位机构,包括连接盘、两定位孔和定位销、多个第一连接孔和第二连接孔、微动台面、多个第一螺钉、第二螺钉和第三螺钉、多个柔性件和连接体,每个定位孔、每个第一连接孔和第二连接孔置于连接盘上;两定位孔分别位于连接盘的对称的位置上;每个第一连接孔与每个第二连接孔相互间隔且对称放置;两定位孔分别靠近一第一连接孔和一第二连接孔;每个柔性件的一端与连接盘上的第二连接孔通过第二螺钉连接,每个柔性件的另一端与微动台面通过第一螺钉连接;连接体与连接盘上的第一连接孔通过第三螺钉相连;定位销插入连接盘的定位孔和连接体中,对连接盘定位。本发明还公开一种多体式高精度微动工作台的定位方法。

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