| 专利名称 | 折反射式光刻照明中继镜组 | 申请号 | CN201410135489.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103984209A | 公开（授权）日 | 2014.08.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 黄惠杰;方瑞芳;曾爱军 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B17/08(2006.01)I | 专利有效期 | 折反射式光刻照明中继镜组 至折反射式光刻照明中继镜组 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种用于光刻照明系统的折反射式光刻照明中继镜组，由折射透镜组、球面反射镜阵列、孔径光阑和平面反射镜组成，本发明具有结构简单，透过率高，成像质量高的特点，容易实现光刻照明系统和投影曝光系统的远心度匹配，可为掩模板提供均匀照明。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障