液压支撑主镜位置测量装置和测量方法

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专利名称 液压支撑主镜位置测量装置和测量方法 申请号 CN201410182524.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103983223A 公开(授权)日 2014.08.13 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 吴小霞;刘昌华;邵亮;孙敬伟;陈宝刚;张岩;王建立;张景旭 主分类号 G01B21/00(2006.01)I IPC主分类号 G01B21/00(2006.01)I 专利有效期 液压支撑主镜位置测量装置和测量方法 至液压支撑主镜位置测量装置和测量方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 液压支撑主镜位置测量装置和测量方法,涉及主镜位置测量领域,解决了液压支撑时镜室中主镜位置不确定的问题。该装置中的径向测量机构包括与镜室固定连接的径向安装座、与径向安装座通过第一传感器压块固定连接的第一位移传感器、粘接在主镜外圆周上的径向测量块;测量时第一位移传感器的测头与径向测量块上光滑的测量平面保持接触可滑动状态;轴向测量机构包括与镜室固定连接的轴向安装座、与轴向安装座通过第二传感器压块固定连接的第二位移传感器、粘接在主镜背面上的轴向测量块;测量时第二位移传感器的测头与轴向测量块上光滑的测量平面保持接触可滑动状态。本发明测量误差小、测量精度高、结构简单、解算效率高。

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