| 专利名称 | 分布式布拉格反射结构的太赫兹量子级联激光器 | 申请号 | CN201410206087.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103972791A | 公开（授权）日 | 2014.08.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 姚辰;曹俊诚 | 主分类号 | H01S5/125(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S5/125(2006.01)I;H01S5/20(2006.01)I;H01S5/343(2006.01)I | 专利有效期 | 分布式布拉格反射结构的太赫兹量子级联激光器 至分布式布拉格反射结构的太赫兹量子级联激光器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种分布式布拉格反射结构的太赫兹量子级联激光器，包括多模波导及分别形成于所述多模波导两侧的DBR光栅波导，其中，所述多模波导的宽度至少为所述DBR光栅波导宽度的两倍。本发明采用宽度较宽的多模波导与宽度较窄的DBR光栅波导组合设计，可以同时实现单横模激射和单纵模激射；并且具有更大的增益面积及更高的输出光功率，可以提高出光光束的质量和收集效率，且器件更加小巧。本发明的DBR光栅波导通过波导宽度的周期性变化实现反馈，其上下电极可采用整片金属，具有更均匀的注入电流，易于实现激光波长调谐和上电极引线键合，提高了器件的成品率和工作稳定性，同时减少了太赫兹激光的功率损失。 |
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