| 专利名称 | 一种氧化锌基p型材料的制备方法 | 申请号 | CN201410182090.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103972310A | 公开（授权）日 | 2014.08.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 王双鹏;单崇新;李炳辉;张振中;李科学;申德振 | 主分类号 | H01L31/0296(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/0296(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 专利有效期 | 一种氧化锌基p型材料的制备方法 至一种氧化锌基p型材料的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种氧化锌基p型材料的制备方法，属于半导体材料生长技术领域。该方法在基础层上制备渐变层；在渐变层上制备盖层；所述的基础层为氧极性表面的MgxZn1-xO(0.6≥x≥0.2)材料，基础层的厚度不小于5nm；渐变层具有组分渐变的结构，其结构自下而上为MgxZn1-xO/Mgx-δZn1-(x-δ)O/Mgx-2δZn1-(x-2δ)O/…/Mgx-(n-1)δZn1-[x-(n-1)δ]O/Mgx-nδZn1-(x-nδ)O(δ→0，n为自然数；nδ＝x；)，渐变层厚度不大于1μm；盖层的材料为ZnO，盖层的厚度不小于300nm。该方法制备的氧化锌基p型材料具有良好的温度稳定性。 |
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