一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角的方法

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专利名称 一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角的方法 申请号 CN201310039434.8 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103968783A 公开(授权)日 2014.08.06 申请(专利权)人 北京智朗芯光科技有限公司;中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 崔高增;刘涛;李国光 主分类号 G01B11/26(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/26(2006.01)I 专利有效期 一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角的方法 至一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角的方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角的方法,属于光学器件技术领域。该方法基于无样品直通式旋转波片椭偏光学系统,包括步骤1:旋转双片波片补偿器,得到不同波长下的光谱强度;步骤2:对探测单元接收到的各个波长下的光谱强度作傅里叶展开或拟合,得到不同波长下的实验傅里叶系数α′4,β′4;步骤3:计算得到光轴偏差角Δc。该方法通过旋转波片,可以测量出双片波片中光轴对准的偏差角度,即光轴偏差角,并且,在使用时,起偏器P和检偏器A可处于任意的角度。

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