| 专利名称 | 光栅尺在高速度条件下的可靠性的检测方法和装置 | 申请号 | CN201410181995.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103968757A | 公开（授权）日 | 2014.08.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 张立华;吴宏圣;孙强;李也凡 | 主分类号 | G01B11/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/00(2006.01)I | 专利有效期 | 光栅尺在高速度条件下的可靠性的检测方法和装置 至光栅尺在高速度条件下的可靠性的检测方法和装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 光栅尺在高速度条件下的可靠性检测方法及检测所用装置，属于光栅尺检测技术领域，该方法包括一、将绝对式光栅尺安装在单轴直线运动平台上，将单轴直线运动平台固定在隔振平台上，用千分表测量光栅尺的侧面与上端面，移动单轴直线运动平台，调整光栅尺使其符合阿贝原则及其安装要求；待系统稳定后，开始测量；二、光栅尺通过数据采集器连到微机控制系统上；微机控制系统与控制器相连，控制器与单轴直线运动平台上的滑块相连接，令单轴直线运动平台高速往复运动三次，光栅尺停止后记录当前位置值W1，系统断电后，等待30秒，再开电，再次读取当前位置值W2，共做三次实验，每次实验满足|W1-W2|≤20μm条件，则判定光栅尺指标合格。 |
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