| 专利名称 | 一种荧光纳米标尺部件及其制作方法 | 申请号 | CN201410197201.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103954600A | 公开（授权）日 | 2014.07.30 | 申请（专利权）人 | 国家纳米科学中心 | 发明（设计）人 | 汪先友;唐云青;戴陆如 | 主分类号 | G01N21/64(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/64(2006.01)I;G01Q40/02(2010.01)I | 专利有效期 | 一种荧光纳米标尺部件及其制作方法 至一种荧光纳米标尺部件及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种荧光纳米标尺部件及其制作方法。所述荧光纳米标尺部件包括透明基底、在所述透明基底上形成的非透明导电层以及在所述非透明导电层上形成的抗刻蚀掩膜层，所述非透明导电层和抗刻蚀掩膜层的对应位置上有一系列间隔设置的、具有预设纳米尺度的沟槽，所述沟槽完全贯穿所述非透明导电层和抗刻蚀掩膜层，所述沟槽用于填充荧光染料。将荧光染料填充入所述沟槽得到荧光纳米标尺可用于荧光显微镜和超高分辨率荧光显微镜系统分辨率的标定。 |
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