| 专利名称 | MEMS地震检波器 | 申请号 | CN201420068594.5 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN203745660U | 公开（授权）日 | 2014.07.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | 发明（设计）人 | 麻三怀;杨长春;俞度立;冯方方 | 主分类号 | G01V1/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G01V1/18(2006.01)I | 专利有效期 | MEMS地震检波器 至MEMS地震检波器 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种MEMS地震检波器，其包括设有上盖的保护壳、设置在保护壳内的MEMS机芯和设置在保护壳外的尾锥，其中，MEMS机芯包括固定在保护壳内的机芯壳、设置在机芯壳内的支撑架和设置在支撑架上的多个MEMS加速度计；上述支撑架为长方体状；上述MEMS加速度计为电容式加速度计，包括X加速度计、Y加速度计和Z加速度计，三者分别立设于支撑架上相邻的三个侧面上，且Z加速度计所处的侧面为支撑架上朝向上盖的顶面；上述尾锥设置在螺杆上，螺杆穿过保护壳的底板并与机芯壳相抵。该MEMS地震检波器中避免了使用具有固有频率的线圈，可记录的动态范围大，响应频带宽、分辨率高，利于探测由人工震源产生的全部宽频带弹性波。 |
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