| 专利名称 | 光刻机投影物镜波像差检测标记和检测方法 | 申请号 | CN201410088185.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103955117A | 公开（授权）日 | 2014.07.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 闫观勇;李思坤;王向朝;沈丽娜;刘晓雷 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 光刻机投影物镜波像差检测标记和检测方法 至光刻机投影物镜波像差检测标记和检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种光刻机投影物镜波像差检测标记和检测方法。采用方向不同，尺寸相同的一维图形作检测标记。采集检测标记的空间像，对空间像光强拟合得到投影物镜波像差。本发明高精度地校正了空间像位置偏移，降低了空间像位置误差，增加了可检测的泽尼克像差数目，提高了泽尼克像差的检测精度。 |
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