| 专利名称 | 微型光纤法珀压力传感器的制作装置及相应的制作方法 | 申请号 | CN201410196508.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103954395A | 公开（授权）日 | 2014.07.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 李玉婷;张文涛;李芳 | 主分类号 | G01L11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01L11/02(2006.01)I;G02B6/255(2006.01)I;G02B6/25(2006.01)I | 专利有效期 | 微型光纤法珀压力传感器的制作装置及相应的制作方法 至微型光纤法珀压力传感器的制作装置及相应的制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种微型光纤法珀压力传感器的制作装置，该装置包括：熔接模块，用于熔接光纤与空心玻璃管；切割模块，与熔接模块固定连接，用于与成像模块和第一运动模块、第二运动模块相配合，对于膜片和法珀腔的腔长进行精密的定位和切割；第一运动模块和第二运动模块，用于带动待处理物体运动，辅助切割模块进行切割；成像模块用于精确测量待处理物体的切割端面角度，并通过采集的图像观察法珀腔的质量，监测法珀腔的几何特性；监测模块用于实时监测法珀腔的质量，监测法珀腔的光学特性。本发明解决了现有法珀腔制作的膜片连接困难、腔长难以调控和膜片减薄等技术难点，大大提高了微型光纤法珀压力传感器制作成功率，并且提高了制作工艺一致性。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障