| 专利名称 | 一种光学凸球面面形的检测装置及方法 | 申请号 | CN201410199400.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103954235A | 公开（授权）日 | 2014.07.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 许嘉俊;贾辛;徐富超;邢廷文 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 一种光学凸球面面形的检测装置及方法 至一种光学凸球面面形的检测装置及方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种光学凸球面面形的检测装置及方法，该装置中，光源发出波长可变的线偏振准单色光，经滤波孔、第一扩束镜、空间滤波器、第二扩束镜、λ/4波片和第一聚焦透镜聚焦于小孔中心。一部分小孔衍射波经第二聚焦透镜照射到被测凸球面表面，经过反射后形成检测光束，经第二聚焦透镜聚焦于小孔附近，在小孔衍射板背面反射，再与另一部分作为参考光束的小孔衍射波发生干涉。将被测凸球面换为一随机球，其球心与被测凸球面球心位置重合，通过多次测量标定第二聚焦透镜引入的聚焦系统误差。本发明利用接近理想球面的小孔衍射波作为参考波，采用随机球法多次测量标定聚焦系统误差，能够实现对光学凸球面面形的高精度测量。 |
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