| 专利名称 | 集成分布布拉格反射光栅的增强型石墨烯波导探测器 | 申请号 | CN201410095871.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103943715A | 公开（授权）日 | 2014.07.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 王玉冰;尹伟红;韩勤;杨晓红 | 主分类号 | H01L31/112(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/112(2006.01)I;H01L31/0232(2014.01)I | 专利有效期 | 集成分布布拉格反射光栅的增强型石墨烯波导探测器 至集成分布布拉格反射光栅的增强型石墨烯波导探测器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种集成分布布拉格反射光栅的增强型石墨烯波导探测器，该光电探测器制作在SOI衬底上，包括：一光波导，形成在衬底纵向的上面；一绝缘透明薄膜均匀制作在衬底上，并覆盖光波导；一石墨烯薄膜制作在绝缘透明薄膜上，并覆盖条状的该光波导的中间部分；一第一金属电极，其具有一接触端和条状的电极端，其接触端制作在绝缘透明薄膜上的一侧，其电极端纵向制作在石墨烯薄膜上；一第二金属电极，其具有一接触端和条状的电极端，其接触端制作在绝缘透明薄膜上的一侧，其电极端纵向制作在石墨烯薄膜上；一栅电极窗口，其形成于绝缘透明薄膜上，位于暴露的绝缘透明薄膜的任意表面。本发明将石墨烯光电探测器与波导、谐振腔等集成，克服了光响应度低的缺陷。 |
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