| 专利名称 | 光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置 | 申请号 | CN201420054625.1 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN203720528U | 公开（授权）日 | 2014.07.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 蔡燕民;李中梁;步扬;王向朝;黄惠杰 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置 至光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置，包括反射镜、针孔板、成像物镜、中继物镜、相位补偿板、1/4波片、1/2波片、沃拉斯顿棱镜、聚焦镜、像传感器。光刻机照明系统的偏振光束入射到反射镜上，被反射到与照明系统光轴垂直的方向，投射到针孔板上，通过针孔的光束再经过成像物镜和中继物镜准直成平行光束，通过相位补偿板、1/4波片、1/2波片，投射到沃拉斯顿棱镜上，被沃拉斯顿棱镜分成2束光，经过聚焦镜投射到像传感器上。本实用新型可以实时监测照明光瞳偏振态的动态变化，直接测量得到每一个归一化的斯托克斯参量，或者每一个斯托克斯参量，1/4波片和1/2波片分别仅有2个定位位置，不需要连续旋转，运动控制简单可靠。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障