| 专利名称 | 一种将石墨烯转移到柔性衬底的方法 | 申请号 | CN201310015048.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103928295A | 公开（授权）日 | 2014.07.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 梁晨;李铁;王文荣;王跃林 | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种将石墨烯转移到柔性衬底的方法 至一种将石墨烯转移到柔性衬底的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种将石墨烯转移到柔性衬底上的方法。该方法包括如下步骤：在附着石墨烯的原衬底上涂胶并烘干使胶固化成为柔性衬底；将固化的柔性衬底与硬质衬底进行键合；采用化学腐蚀液腐蚀原衬底；用去离子水反复清洗石墨烯/柔性衬底/硬质衬底结合体并吹干；将柔性衬底与石墨烯直接从硬质衬底上剥离，得到所需的附着在柔性衬底上的石墨烯。该方法操作简单，成本低，适用范围广，转移过程中石墨烯材料不容易被破坏，可以高效、稳定地将石墨烯转移到柔性衬底上，可与半导体工艺结合用于制备石墨烯柔性电子器件。 |
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