| 专利名称 | 光刻机照明光源的描述方法 | 申请号 | CN201410160574.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103926803A | 公开（授权）日 | 2014.07.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 杨朝兴;王向朝;李思坤 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 光刻机照明光源的描述方法 至光刻机照明光源的描述方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种光刻机照明光源的描述方法。该方法通过一组相互重叠的圆形子照明光源的坐标和光强等参数描述光刻机照明光源。本发明减少了描述光刻机照明光源所需的变量数量，提高了获得最优光刻机照明光源的速度。 |
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