| 专利名称 | 一种变焦光学系统 | 申请号 | CN201410157886.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103926683A | 公开（授权）日 | 2014.07.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 何毅;张海波;林妩媚;邢廷文;廖志杰;甘大春;卢亮 | 主分类号 | G02B15/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B15/20(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种变焦光学系统 至一种变焦光学系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种变焦光学系统，尤其是用于光刻照明系统内的变焦光学系统，该变焦光学系统沿其光轴方向包括第一、第二、第三和第四共四个透镜组。其中第一镜透镜组L1为前固定组，具有正光焦度，第二透镜组L2为变倍组，具有正光焦度，第三透镜组L3为补偿组，具有负光焦度，第四透镜组L4为后固定组，具有正光焦度，其中第二透镜组L2和第三透镜组L3可沿光轴方向移动，改变系统的焦距，将入射的照明图形缩放后成像于光刻曝光系统的光瞳面。本发明的变焦系统所有的透镜均为球面透镜，能有效降低制造成本，降低镜片的加工、检测和装调难度；且系统内有一中间像面，可以调整系统像面得到的照明图形，使其形状、能量分布特性符合特定的要求。 |
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