| 专利名称 | 直接在针尖表面共形覆盖石墨烯的方法 | 申请号 | CN201410181336.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103924209A | 公开（授权）日 | 2014.07.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 | 发明（设计）人 | 魏大鹏;杨俊;朱鹏;余崇圣;张永娜;姜浩;黄德萍;李占成;史浩飞;杜春雷 | 主分类号 | C23C16/26(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C16/26(2006.01)I | 专利有效期 | 直接在针尖表面共形覆盖石墨烯的方法 至直接在针尖表面共形覆盖石墨烯的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种直接在针尖表面共形覆盖石墨烯的方法，是将洗净、干燥的针尖置PECVD真空腔室中，排尽腔室内空气，向腔室中填充保护气体，再将针尖加热至石墨烯生长温度，向腔室中通入碳源气体和起载流作用的保护气体，维持气压在石墨烯生长压强，设定射频功率至石墨烯生长功率，使石墨烯在针尖表面直接生长，待石墨烯生长结束后，关闭射频电源，停止向腔室中通入碳源气体，将针尖在保护气体和石墨烯生长压强下降温至室温，取出针尖，在针尖尖端及侧表面即覆盖有连续均匀的石墨烯薄膜；本发明方法操作简单，无需金属催化剂，无需复杂的石墨烯转移过程，制备温度低、周期短、成本低，适用于硅、钨等多种材质的针尖，可用于石墨烯覆盖针尖的批量化制备。 |
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