一种基体表面的耐辐照防护涂层及其制备方法

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专利名称 一种基体表面的耐辐照防护涂层及其制备方法 申请号 CN201410168406.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103924203A 公开(授权)日 2014.07.16 申请(专利权)人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 发明(设计)人 汪爱英;冯宗建;柯培玲;张栋;王振玉 主分类号 C23C14/35(2006.01)I IPC主分类号 C23C14/35(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I 专利有效期 一种基体表面的耐辐照防护涂层及其制备方法 至一种基体表面的耐辐照防护涂层及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供了一种基体表面耐辐照性能的防护涂层,该防护涂层以Ti2AlCMAX相为主相结构,实验证实,该Ti2AlC?MAX相经受离子辐照后仍然保持较高的稳定性,具有优异的耐蚀耐辐照性能。另外,本发明还提供了一种制备该防护涂层的方法:采用TiAl合金靶材辅以碳氢反应气体,反应溅射制备Ti-Al-C防护涂层,然后通过真空热处理使其退火固相反应形成以Ti2AlC?MAX相为主相的防护涂层。该制备方法成本低、简单易控,防护涂层均匀、性能良好,具有良好的应用前景。

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