| 专利名称 | 一种多模干涉结构太赫兹量子级联激光器及制作方法 | 申请号 | CN201410117762.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103915758A | 公开（授权）日 | 2014.07.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 姚辰;曹俊诚 | 主分类号 | H01S5/20(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S5/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种多模干涉结构太赫兹量子级联激光器及制作方法 至一种多模干涉结构太赫兹量子级联激光器及制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种多模干涉结构太赫兹量子级联激光器，包括多模干涉波导结构，所述多模干涉波导结构从垂直方向自下而上依次为半绝缘衬底、缓冲层、下接触层、有源区、上接触层、上金属层；所述有源区、上接触层和上金属层在下接触层上形成脊型结构；所述脊型结构两侧设有下金属层；所述上金属层通过湿法刻蚀形成多模波导和输出波导；所述输出波导为单模波导，并位于多模波导两端中心处；所述输出波导的宽度小于所述多模波导的宽度。本发明还涉及THz?QCL制作方法。上述本发明能够提高THz?QCL出光功率而又不降低出光光束质量和收集效率，保持器件小型化并降低成本。 |
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