| 专利名称 | 一种用于检测光栅尺热膨胀系数的装置 | 申请号 | CN201410116780.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103913479A | 公开（授权）日 | 2014.07.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 曾琪峰;杨帆;吴宏圣;牛文达;孙强 | 主分类号 | G01N25/16(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N25/16(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于检测光栅尺热膨胀系数的装置 至一种用于检测光栅尺热膨胀系数的装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种用于检测光栅尺热膨胀系数的装置，解决现有光栅测量技术中出现的热膨胀的问题，包括恒温装置、测长装置、光栅尺固定架及信号处理电路，其中，恒温装置包括温度测量元件，一温度控制元件。测长装置用于测量光栅尺读数头的经过温度修正的位置值，光栅尺固定架用于固定待测光栅尺，待测光栅尺是能够提供未经过温度补偿的位置读数的光栅尺，信号处理电路用于处理来自光栅尺和测长装置的长度信号，来自温度传感器的温度信号，进而得到该待测光栅尺的热膨胀系数。 |
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